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碳納米管生長設(shè)備（碳納米管制備系統(tǒng)，碳納米管生長系統(tǒng)），可用于制備碳納米管，包括垂直方向碳納米管生長；在Si、石英、陶瓷、各種金屬（不銹鋼，Ti和Pt等）等多種基底上用廉價的酒精、汽油或者生物燃料等作為碳源生長碳納米管；系統(tǒng)封閉腔體不但提供了一定的真空度，而且還可對基底進(jìn)行加熱。

碳納米管CVD制備系統(tǒng)用于制備納米碳材料，如碳納米管粉、碳納米管薄膜和定向碳納米管制備；采用封閉式管式爐，石英反應(yīng)管直徑50mm/70mm~110mm*1000mm，基底尺寸60mm*60mm到120mm*120mm；氣源包括氫氣、氮氣、甲烷、酒精等；

噴霧熱解成膜系統(tǒng)技術(shù)基本原理是將含有成膜成分的前驅(qū)體物質(zhì)制成溶液，然后在高壓下使其霧化，噴射到預(yù)熱的基材上，發(fā)生分解反應(yīng)，得到想要的薄膜材料；常用的高壓源通常為壓縮的空氣、氧氣、氮氣、氫氣等；

石墨烯制備系統(tǒng)（CVD）主要用于合成石墨烯薄膜和各種碳納米材料，有一個水平石英管式爐。一個催化劑襯底（通常是銅鋁箔）放置在爐里,甲烷氣體或乙炔氣體從外部低流量和低壓地注入，在催化劑的襯托上形成石墨烯薄膜。

Slot-Die涂布機(jī)是一種快速的涂布薄膜的方式，不僅用于光學(xué)膜（增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等）、OLED涂布等，還可以用于有機(jī)太陽能電池OPV和鈣鈦礦太陽能電池PVK等成卷基材的涂布，也應(yīng)用于非連續(xù)基材如LCD玻璃基板光阻涂布。